四极照明 时间:2026-11-06 08:33:00 浏览:951次 为了同时获得对掩模上水平线条和垂直线条的分辨率,可以把水平双极和垂直双极组合起来。这种照明被称为四级照明(Quadra Illumination),如图1(a)所示 。想要了解更多“四极照明”的信息,请点击:四极照明百科 标签:四极,照明