氟化钙晶体（calcium fluoride crystal），化学式为CaF₂，属立方晶系，呈立方体或八面体结构，密度3.18g/cm³，折射率1.434。自然界以萤石形式存在，含杂质时呈现多彩色泽并具有荧光现象。其透光波段覆盖0.13~10微米，在紫外至红外光谱区具备高透过率，且在200nm波长以上无明显本征双折射，广泛应用于光刻机、激光窗口及红外传感器等光学元件制造 。
该晶体采用热交换坩埚下降法制备，德国研制的单晶直径已达350mm，经热处理后位错密度可从10cm⁻²降至10³cm⁻²量级 。作为深紫外光刻机核心材料，其内透过率超过99.3%/cm@193nm，应力双折射小于5nm/cm，解决国产芯片制造中70nm微细结构加工需求 。氟化钙晶体还具有抗辐照损伤、耐高温及化学腐蚀等特性，适用于航空航天等恶劣环境。
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