聚焦离子束扫描电镜（FIB-SEM）是一种结合了聚焦离子束微加工能力与扫描电子显微镜高分辨率成像功能的双束分析仪器 。其系统核心包括场发射电子束系统（FE-SEM）和离子束系统（FIB） 。
该仪器主要功能包括利用电子束进行高分辨成像，以及利用离子束进行微区刻蚀加工、气体辅助沉积和透射电镜样品制备等 。其技术已应用于半导体、材料科学及锂离子电池研究等领域 。部分型号如LYRA3配备了中文操作界面 ，冷冻型号（如Aquilos 2 Cryo-FIB）则可用于在极低温下制备生物样品薄片 。
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