电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）是20世纪80年代发展起来的元素分析技术。其核心特征体现在检出限可达ng/L级别、动态线性范围可准确定量从ppt到百分含量级别的浓度跨度。该技术通过等离子体离子源与四级杆质量分析器联用，实现环境检测中75种元素同步分析 。应用于半导体材料纯度验证和医学重金属筛查等领域，其应用领域覆盖环境监测、半导体工业、临床医学、核工业、地质勘探、食品安全等十二大领域 ；在先进半导体领域，ICP-MS技术能够实现ppq级的痕量分析 。针对检测过程中产生的质谱干扰，发展了碰撞反应池技术和数学校正方程相结合的解决方案；非质谱干扰主要表现为基体效应，当样品溶液中总溶解固体超过0.2%时，会显著影响待测元素信号强度，可通过在线稀释、内标校正、基质匹配等方法抑制。在分析纯度超过99.99999%的超高纯材料时，采用三重四级杆质谱仪可将镓、锗等半导体材料的检测限降低至0.01ppt水平。1980年英国学者发表首篇ICP-MS研究论文，1983年加拿大公司推出首台商用仪器，标志着该技术从实验室走向工业化应用。经过四十年发展形成单四级杆、三重四级杆、飞行时间质谱三大技术路线 。
想要了解更多“电感耦合等离子体质谱法”的信息，请点击：电感耦合等离子体质谱法百科
